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什么是成都高纯三氟化氮?高纯三氟化氮有什么用途?
作者:admin 发布日期:2019-8-26 关注次数: 二维码分享

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三氟化氮化学式NF?,在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的bte365足球比分_bte365首存送50%_bte365备用,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻bte365足球比分_bte365首存送50%_bte365备用,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。


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bet36备用10365.com三氟化氮主要用途是用作氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源,在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分(约25%)可以以激光辐射释放出,所 HF-OF激光器是化学激光器中有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻bte365足球比分_bte365首存送50%_bte365备用,对硅和氮化硅蚀刻,采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合bte365足球比分_bte365首存送50%_bte365备用有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中,三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术,它的需求量将日益增加。

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