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成都高纯三氟化氮的基础介绍及行业应用
作者:admin 发布日期:2018-4-28 关注次数: 二维码分享

对于成都高纯三氟化氮来说,大多数朋友都不太了解,我们在使用前首先要摸清楚它的基础知识以及适用范围等,本文,小编就为大家科普一下!

三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的bte365足球比分_bte365首存送50%_bte365备用,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻bte365足球比分_bte365首存送50%_bte365备用,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。

成都高纯三氟化氮

用途:

三氟化氮主要用途是用作氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源,在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分(约25%)可以以激光辐射释放出,所 HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻bte365足球比分_bte365首存送50%_bte365备用,对硅和氮化硅蚀刻,采用三氟化氮比四氟化碳与氧气的混合bte365足球比分_bte365首存送50%_bte365备用有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中,三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术,它的需求量将日益增加。

危险概述:

三氟化氮是低毒性物质,但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜,腐蚀组织。吸入高浓度NF3可引起头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度NF3能损伤牙齿和骨骼,使牙齿生黄斑,骨骼成畸形。具有强氧化性。与还原剂能发生强烈反应,引起燃烧爆炸。与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应,甚至引起燃烧。受高热发生剧烈分解,甚至发生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小时末见死亡,但出现高铁血红蛋白血症,当吸入10000ppm·l小时有死亡,在2500ppm时吸毒后4小时死亡。最高容许浓度:10ppm(29mg/m3)。

消防措施:

强氧化剂。受热或与火焰、电火化、有机物等接触能燃烧,甚至爆炸。与易燃物(如苯)和可燃物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应,甚至引起燃烧。与还原剂能发生强烈反应,引起燃烧爆炸。

有害燃烧产物: 氟化氢。

灭火方法: 消防员必须穿全身防火防毒服,在上风向灭火。切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。

灭火剂:雾状水、泡沫。

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并隔离直至bte365足球比分_bte365首存送50%_bte365备用散尽,应急处理人员戴正压自给式呼吸器,穿化学防护服。切断火源。在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散),但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用,且要经过技术处理以清除可能剩下的bte365足球比分_bte365首存送50%_bte365备用。法规信息:化学危险品安全管理条例(1987年2月17日国务院发布),化学危险品安全管理条例实施细则(化劳发[1992]677号),工作场所安全使用化学危险品规定[1996]劳部发423号)法规,针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定;常用危险化学品的分类及标志(GB13690-92)将该物质划为第2.3类有毒bte365足球比分_bte365首存送50%_bte365备用。

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